ENGLISH
|
JAPANESE
|
CONNECT WITH US:
Home
About
Contact
Log in
*
Home
Press release
2016年09月12日 16時00分
Source:
Mitsubishi Heavy Industries, Ltd.
三菱重工工作機械、常温ウェーハ接合装置による接合サービスでD-processと協業
東京, 2016年09月12日 - (JCN Newswire) - 三菱重工グループの三菱重工工作機械株式会社(社長:白尾 誠二、本社:滋賀県栗東市)は、自社開発の常温ウェーハ接合装置による接合サービスで株式会社D-process(社長:土肥 英之氏、本社:神奈川県大和市)と協業することに合意しました。D-processが手掛けるウェーハのCMP(Chemical Mechanical Polishing:化学機械研磨)などの研磨と常温接合の一貫サービス体制を整え、半導体製造を請け負うファウンドリー(Foundry)事業を高度化・拡大していくのが狙いです。
協業の内容は、D-processが顧客から委託を受けてCMPなどにより表面を平滑に加工したウェーハを、三菱重工工作機械が自社所有の常温接合装置により接合するというものです。三菱重工工作機械は、2014年から常温接合サービス事業を展開しており、D-processからの接合依頼にも対応してきました。今後はさらに接合ファウンドリー事業の拡大が見込めます。
常温接合は、イオンビームや原子ビームを真空中で照射することにより、ウェーハ表面を活性化させて接合する方式です。通常の接合と違い熱をまったく加えないため、熱膨張率が異なる材料同士の接合や、高い仕上がり精度が求められるMEMS※デバイス、加熱ができないバイオデバイスなどの製造に適しています。シリコン系、酸化物誘電体、ガラス、化合物半導体、金属、セラミックスなど幅広い材料の接合が可能です。
三菱重工工作機械は、ウェーハ研磨で高い技術を持つD-processを通じたサービス提供により、半導体製造業界に常温接合技術をアピールするとともに、両社による情報交換を緊密に行うことで接合プロセスのレベル向上に努め、常温接合装置の拡販にもつなげていきます。一方、CMPサービスを主体に手掛け、接合サービス分野の拡充にも取り組むD-processは、常温接合を希望する顧客の開拓を積極化していきます。
三菱重工工作機械は、常温ウェーハ接合装置のパイオニアとして、D-processとの協業も弾みに国内外における常温接合プロセスの普及を加速させていきます。
※ Micro Electro Mechanical Systemsの略。微細加工技術による超小型のセンサーやアクチュエーターなど。自動車や携帯電話、デジタルカメラなどのほか、プリンターのインクジェットヘッドにも使われています。
製品ページ
ウェーハ常温接合装置 BOND MEISTER
http://www.mhi.co.jp/products/detail/wafer_bonding_machine.html
微細加工・接合試作サービス(三菱重工工作機械株式会社のサイトへリンクします)
http://www.mhi-machinetool.com/mbservices/index.html
本リリースの詳細は下記URLをご参照ください。
http://www.mhi.co.jp/news/story/1609085786.html
概要:三菱重工業株式会社
詳細は www.mhi.co.jp をご覧ください。
担当窓口:三菱重工工作機械株式会社
http://www.mhi-machinetool.com/
Source: Mitsubishi Heavy Industries, Ltd.
セクター: 製造プロセス, エネルギー
Copyright ©2024 JCN Newswire. All rights reserved. A division of Japan Corporate News Network.
Latest Release
Mitsubishi Power to Supply Technology to Support Brazil's Largest Reliability Project
May 31, 2024 17:09 JST
Team HRC Participation in the Suzuka 8 Hours Endurance Road Race 45th Tournament
May 31, 2024 14:59 JST
DOCOMO Launches Japan's First Demonstration Experiment of Self-powered Hydropower Base Station
May 30, 2024 14:30 JST
Fujitsu leverages data and AI to enable Panasonic EW's resilient supply chain management
May 29, 2024 15:27 JST
Hydrogen Engine Generator Set Ready for In-house Evaluation
May 29, 2024 13:53 JST
Hitachi and Google Cloud Announce Strategic Partnership to Accelerate Innovation and Productivity with Generative AI
May 29, 2024 12:38 JST
Japanese Consortium Achieves World's First Demonstration of 5G Communication from Altitude of 4km Using 38GHz Band
May 29, 2024 11:44 JST
Hitachi High-Tech Launches the SU3900SE and SU3800SE Series High-Resolution Schottky Field Emission Scanning Electron Microscopes Allowing Observation of Large and Heavy Samples at the Nano Level
May 29, 2024 11:30 JST
Celonis and NEC begin Proof of Concept Integrating Generative AI and Process Intelligence
May 28, 2024 20:20 JST
LEQEMBI (lecanemab) Approved for the Treatment of Alzheimer's Disease in South Korea
May 28, 2024 15:19 JST
Roche and Hitachi High-Tech extend their long-standing partnership
May 28, 2024 12:53 JST
Subaru, Toyota, and Mazda Commit to New Engine Development for the Electrification Era, Toward Carbon Neutrality
May 28, 2024 12:45 JST
Fujitsu unveils 1FINITY T250, an optical transmission solution that enables new connectivity services to achieve IOWN initiative
May 28, 2024 10:45 JST
Idemitsu Kosan, ENEOS, Toyota, and MHI Commence Study toward Introduction and Spread of Carbon-Neutral Fuels for Automobiles
May 27, 2024 13:35 JST
Toyota: Evolved Liquid Hydrogen-Powered GR Corolla to Participate in Super Taikyu Fuji 24 Hours Race
May 24, 2024 16:19 JST
Hitachi Energy's HVDC technology to power Marinus Link, a key step toward Australia's Net Zero ambitions
May 24, 2024 14:39 JST
Eisai Showcases Oncology Portfolio and Pipeline at ASCO 2024
May 23, 2024 18:07 JST
MHI Thermal Systems Receives JSRAE Technology Award for "e-3D Scroll" Compressor
May 23, 2024 16:01 JST
NEC X Invests in Agtech Startup Verdi, Integrates AI-Powered Platform with NEC's Cropscope Smart Farming Initiative
May 23, 2024 11:20 JST
'Fujitsu Technology and Service Vision 2024': Leveraging AI and leading-edge technologies to deliver greater value to the environment, economies and people's well-being
May 23, 2024 10:18 JST
More Latest Release >>
Related Release
Mitsubishi Power to Supply Technology to Support Brazil's Largest Reliability Project
5/31/2024 5:09:00 PM JST
Hydrogen Engine Generator Set Ready for In-house Evaluation
5/29/2024 1:53:00 PM JST
Idemitsu Kosan, ENEOS, Toyota, and MHI Commence Study toward Introduction and Spread of Carbon-Neutral Fuels for Automobiles
5/27/2024 1:35:00 PM JST
MHI Thermal Systems Receives JSRAE Technology Award for "e-3D Scroll" Compressor
5/23/2024 4:01:00 PM JST
Mitsubishi Heavy Industries and NGK to Jointly Develop Membrane Dehydration Systems for Bioethanol and e-Methanol
5/22/2024 3:15:00 PM JST
MHI Receives Order for Additional 12 Units of the Outer Vertical Target for the Divertor Used in the ITER in Southern France
5/20/2024 11:36:00 AM JST
Mitsubishi Heavy Industries Increases Dividends on Back of Historically High FY2023 Results, Releases FY2024 Guidance
5/8/2024 2:27:00 PM JST
MHI Agrees to Collaborate with Chiyoda Corporation for Licensing of CO2 Capture Technologies
5/7/2024 1:49:00 PM JST
SPARX Group Establishes Space Frontiers Second Fund
4/29/2024 6:49:00 PM JST
MHI Establishes Local Subsidiary "Mitsubishi Heavy Industries Vietnam"
4/29/2024 6:00:00 PM JST
More Press release >>